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  • 產品名稱:武漢定制半導體制造設備密封圈

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詳情介紹:
半導體制造設備密封圈是以苯基硅橡膠為材質的環形密封件,具備優異的耐高低溫性能(-120℃~300℃),適用于半導體設備高溫工藝(如外延爐密封)和高潔凈環境,壓力0-300MPa,速度≤15m/s,適用介質包括液壓油、氣、水、酸堿等混合介質;壓縮長久變形率低(250℃下70小時后≤8%),確保長期密封可靠性。
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